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電子超純水設備
2018-04-27 11:00:56 來源：
電子超純水設備
電子超純水設備是電子行業用水，保證電子產品質量安全和電子行業健康運行的一種水處理設備。電子超純水設備適用于集成電路生產中高純水清洗硅片、半導體材料、晶元材料生產、加工，凱聚達的電子工業設備廣泛的用于在電子行業中，而且在電子行業中的地位更是蒸蒸日上成為業內發展的主導者。
去離子水、超純水在電子工業主要是線路板、電子元器件生產中的起到重要的作用，去離子、超純水水質已成為影響線路板、電子元器件產品質量、生產成品率及生產成本的重要因素之一，水質要求也越來越高。在電子元器件生產中，去離子水、超純水主要用作清洗用水及用來配制各種溶液、漿料，不同的電子元器件生產中純水的用途及對水質的要求也不同。
在晶體管、集成電路生產中，超純水主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制，硅片氧化的水汽源，部分設備的冷卻水，配制電鍍液等。集成電路生產過程中的80%的工序需要使用高純水清洗硅片，水質的好壞與集成電路的產品質量及生產成品率關系很大。水中的堿金屬（K、Na等）會使絕緣膜耐壓不良，重金屬（Au、Ag、Cu等）會使PN結耐壓降低，Ⅲ族元素（B、Al、Ga等）會使N型半導體特性惡化，Ⅴ族元素（P、As、Sb等）會使P型半導體特性惡化，水中細菌高溫碳化后的磷（約占灰分的20-50%）會使P型硅片上的局部區域變為N型硅而導致器件性能變壞，水中的顆粒（包括細菌）如吸附在硅片表面，就會引起電路短路或特性變差。
由此可見，電子行業對用水水質標準要求非常高，然而電子超純水設備是電子行業用水的必不可少的重要設備。
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